纯硅模具介绍纯硅模具是制备高深宽比微通道的理想选择,利用硅的干法刻蚀技术,可以轻松实现深宽比zui高达25:1的微通道结构,而且线条宽度可控制在2微米以上,精度误差仅在±1微米范围内。 然而,硅表面通常具有强烈的亲水性,这可能导致PDMS芯片在脱模时黏附在硅表面,制造过程中的一大挑战。为解决这个问题,通常需要对硅表面进行疏水修饰,使硅表面变得疏水,确保PDMS芯片能够轻松从硅模具上脱离,而不受亲水性的干扰(具体疏水解决方案可咨询销售)
以上信息由专业从事PDMS模具光刻的顶旭于2024/3/29 8:37:10发布
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